（知り合いの技術者からのご案内です。）
この度、ＳＨＪ型太陽電池製造に必要なトレイレス両面製膜装置のアイデイアを ２件、特許出願しました。その中の一つは、１０月下旬に公開されました。私と しては、譲渡先企業殿がＰＣＴ出願できる期限内に、譲渡したいと願っています。 したがって、小林様にできれば、国内企業を紹介していただければ幸いです。

上記出願特許の特徴は次の通りです（必要であれば、技術説明資料を別途、送付 いたします）。
（１）特開２０１９－１８６５６９
・ＳＨＪ型太陽電池は発電効率は高い（２５％級）が、構造が複雑である。即ち、 シリコン基板の表面（光入射側）にｉ層とｐ層を製膜し、裏面にｉ層とｎ層を製 膜する。従来の製膜装置は、基板トレイに載置されたシリコン基板の上にｉ層と ｐ層を製膜し、その後一旦、大気に出して、基板を反転する。そして、裏側に、 ｉ層とｎ層を製膜する。基板トレイを用いるので、そのトレイに付着した膜から 不純物が放出され、下流製膜工程のｉ層膜の品質が低下する。その結果、発電効 率が低い。また、表面製膜と裏面製膜で、それぞれ、ロード室とアンロード室を 通り、基板温度の調整に時間と電力を費やすので、タクトタイムが向上せず、製 造コストが高い。なお、バックコンタクトＳＨＪ型太陽電池の製造においても、
上記とほぼ同様です。

・本出願発明は、基板トレイを用いないで、かつ、基板の両面を大気に曝さない で、上記両面の製膜ができる。即ち、トレイレス両面性膜が可能という、画期的 製膜装置である。なお、トレイレス基板搬送手段に、私の開発した手段を用いる。
（２）特願２０１９－ｘｘｘｘｘｘｘｘｘ（特許審査中）
・本出願特許は、上記（１）のトレイレス基板搬送手段に、静電チャックプレー トを用いることを、特徴とする。

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